신대용, 임병규, 박성제,

Journal of Advanced Technology Research, Vol. 2, No. 2, pp. 1-5, 12월. 2017
10.11111/JATR.2017.2.2.001, Full Text:
Keywords: PDMS 박막, 표면에너지, 영의 방정식, 스프레딩
Abstract

본 연구에서는 기존의 복잡한 공정을 거쳐 제작되는PDMS박막의 간단하고 저렴한 제작방법을 고안하고 연구를 수행하였다. 물 위 떠 있는 기름 박막에서 착안하여, 고가의 장비 및 여러 단계의 공정 없이 PDMS (Polydimethylsiloxane) 박막을 제작할 수 있는 공정을 개발하였다. 표면에너지에 관련된 영의 방정식을 통 한 이론적 배경을 토대로 박막의 두께와 크기를 제한하는 폴리스티렌 소재의constraint ring을 설계하였다. Constraint ring의 직경은 50, 70mm이며 PDMS 투입량은200, 300, 400 μL 로 설정하였다. 실험결과에 따 르면, constraint ring의 직경이 증가할수록 박막의 두께는 감소하는 것을 확인할 수 있었다. PDMS를 투입 하고 soft-baking 과정에서 박막이 완전히 constraint ring을 채우지 못하거나 기포가 생기는 현상이 관찰 되었으며, 이러한 현상은 박막 제작에 있어 가열 온도와 가열 시간 또한 중요한 영향을 주는 인자라는 것을 의미한다.

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